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洁净室检测-静压差测试，不同等级的洁净室之间的压差不宜小于5Pa，洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa$n，洁净区与室外的压差不应小于10Pa，压差测试从最里面的房间依次向外测定相邻相通房间的压差，直至测出洁净区与非洁净区、室外环境(或向室外开口的房间)之间的压差。
洁净室检测-温湿度测试 室内测点可在送回风口处或在恒温恒湿工作区具有代表性的地点布置。波动范围 温度波动△t=+0.5℃~±2℃ 。相对湿度波动△RH-±5%~±10% ；室面积50㎡测试 5个点， 每增加20~50㎡增加测试3~5个，测点一般应布置在距外墙表面大于0．5m、距地0．8m的同一高度上；也可以根据恒温恒湿区的大小，分别布置在离地不同高度的几个平面上。
洁净室检测-照度测试 测点距地面高0．8m，按1m～2m间距布点，30㎡以内的房间测点距墙面0．5m，超过30㎡的房间，测点离墙1m。
洁净室检测-噪声测试测点距地面高1．1m。面积在15㎡以下的洁净室，可只测室中心1点，15㎡以上的洁净室除中心1点外，应再测对角4点，距侧墙各1m，测点朝向各角。
安装确认-高效过滤器检漏 ，高效过滤器检漏服务是洁净室检测及验收中的重要项目检漏试验是尘埃粒子检测的基础，其重要性决尘埃粒子的测定。
高效过滤器检漏-光度计法在洁净室检测中，工业洁净室中，尘埃粒子检测是重点，而检漏试验是尘埃粒子测定的基础，其重要性不亚于粒子测定。高效过滤器检漏和空气流速达到了规定要求，气流均匀度也在规定的控制范围内，则洁净度当然有了保证。
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