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洁净室检测-电子厂尘埃粒子测试

简要描述:洁净室检测-电子厂尘埃粒子测试 洁净度检测 GB50472-2008 电子厂房设计规范同GB50073-2013洁净厂房设计规范洁净度的测试方法一致,采样点应均匀分布于洁净室(区)的整个面积内,并应位于工作区的高度,活动高度宜距离地面0.8每个采样点的最小采样时间为1min.每一采样点的每次采样量应至少为2L,采样量应按下式计算:

  • 产品型号:
  • 厂商性质:工程商
  • 更新时间:2022-12-05
  • 访  问  量:569

详细介绍

洁净室检测-电子厂尘埃粒子测试 GB50472-2008 电子厂房设计规范GB50073-2013洁净厂房设计规范洁净度的测试方法一致

洁净室检测-电子厂尘埃粒子测试洁净度的检测,应符合下列规定:

1、应使用采样量大于1Lmin光学粒子计数器(激光尘埃粒子计数器),应根据粒径鉴别能力、粒子浓度适用范围和计数效率等要求选用仪器。仪器应有有效的标定合格证书。

洁净度检测



2、最少采样点应按下式计算:

NLA

式中NL——最少采样点;

A——洁净室或被控洁净区的面积()

3、采样点应均匀分布于洁净室(区)的整个面积内,并应位于工作区的高度,活动高度宜距离地面0.8m;每个采样点的最小采样时间为1min.


4、每一采样点的每次采样量应至少为2L,采样量应按下式计算:

Vs={20/ Cn.m}×1000

式中:Vs——每个采样点的每次采样量,以L表示;当Vs很大时,可使用顺序采样法;
Cn.m——被测洁净室空气洁净度等级的被测粒径的限值(pc/m3)
20
——在规定被测粒径粒子的空气洁净度等级限值时,可测到的粒子颗数(pc)
5 、当洁净室或洁净区仅有一个采样点时,则在该点应至少采样3次。

洁净室检测-电子厂洁净度尘埃粒子测试 判定参考表格

GB50073-2013洁净厂房设计规范

空气洁净等级(N

最高浓度极限(颗粒数/m3

近似对应传统规格

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1.0μm

5.0μm

1

10b

2






2

100

24

10

4




3

1,000

237

102

35

8


1

4

10,000

2,370

1,020

352

83


10

5

100,000

23,700

10,200

3,520

832

29

100

6

1,000,000

237,000

102,000

35,200

8,320

293

1,000

7




352,000

83,200

2,930

10,000

8




3,520,000

832,000

29,300

100,000

9




35,200,000

8,320,000

293,000


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