洁净室检测-电子厂尘埃粒子测试

简要描述：洁净室检测-电子厂尘埃粒子测试洁净度检测 GB50472-2008 电子厂房设计规范同GB50073-2013洁净厂房设计规范洁净度的测试方法一致，采样点应均匀分布于洁净室(区)的整个面积内，并应位于工作区的高度，活动高度宜距离地面0.8每个采样点的最小采样时间为1min.每一采样点的每次采样量应至少为2L，采样量应按下式计算：

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更新时间：2022-12-05
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详细介绍

洁净室检测-电子厂尘埃粒子测试 GB50472-2008 电子厂房设计规范同GB50073-2013洁净厂房设计规范洁净度的测试方法一致

洁净室检测-电子厂尘埃粒子测试洁净度的检测，应符合下列规定：

1、应使用采样量大于1L／min光学粒子计数器（激光尘埃粒子计数器），应根据粒径鉴别能力、粒子浓度适用范围和计数效率等要求选用仪器。仪器应有有效的标定合格证书。

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2、最少采样点应按下式计算：

N_L＝√A

式中N_L——最少采样点；

A——洁净室或被控洁净区的面积(㎡)。

3、采样点应均匀分布于洁净室(区)的整个面积内，并应位于工作区的高度，活动高度宜距离地面0.8m;每个采样点的最小采样时间为1min.

4、每一采样点的每次采样量应至少为2L，采样量应按下式计算：

Vs={20/ Cn.m}×1000

式中：Vs——每个采样点的每次采样量，以L表示；当Vs很大时，可使用顺序采样法；
Cn.m——被测洁净室空气洁净度等级的被测粒径的限值(pc/m3)；
20——在规定被测粒径粒子的空气洁净度等级限值时，可测到的粒子颗数(pc)。
5 、当洁净室或洁净区仅有一个采样点时，则在该点应至少采样3次。

洁净室检测-电子厂洁净度尘埃粒子测试判定参考表格

GB50073-2013洁净厂房设计规范
空气洁净等级（N）	最高浓度极限（颗粒数/m³）						近似对应传统规格
空气洁净等级（N）	0.1μm	0.2μm	0.3μm	0.5μm	1.0μm	5.0μm	近似对应传统规格
1	10b	2
2	100	24	10	4
3	1,000	237	102	35	8		1
4	10,000	2,370	1,020	352	83		10
5	100,000	23,700	10,200	3,520	832	29	100
6	1,000,000	237,000	102,000	35,200	8,320	293	1,000
7				352,000	83,200	2,930	10,000
8				3,520,000	832,000	29,300	100,000
9				35,200,000	8,320,000	293,000

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