洁净度检测-尘埃粒子测试

洁净度检测-尘埃粒子测试 根据ISO 14644-1：2015洁净室及相关受控环境 第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级

®洁净度检测-尘埃粒子测试仪器标准

光散射尘埃粒子计数器、光散射离散尘埃粒子计数器

仪器功能有：计数、测量单个尘埃粒子粒径并以当量光学直径报告粒径数据

®分级 ：据标准来评估洁净室或洁净区洁净度水平的方法。

®占用状态

应在三种占用状态（空态、静态和动态，）的一种或更多情况下，根据洁净室或洁净区空气里粒子浓度来划分空气洁净度等级。

空态：洁净室或洁净区已完工，所有动力接通并运行，但无设备、设施、材料或人员在场。

静态：洁净室或洁净区已完工，设备已经安装好，并以约定方式运行，但没有人员在场。

动态 ：洁净室或洁净区以约定条件发挥作用，设备以规定方式运行，有规定数量的人员在场

®粒子粒径

当一个或超过一个的粒径阈值（下限）处于从≥0,1μm到≥5μm的范围，可用来判定根据粒子浓度得出的空气洁净度分级。

备注：当设备安装匹配完成，可用于持续或频繁监控空气洁净度（根据粒子浓度来分级）和其他性能参数，分级的时间间隔可以延长，监控结果需保持在规定限度内。

®1测试

附录A（标准）给出了相符性认证的基准测试方法，也可以规定其它至少有可比性的替代方法和/或仪器。如果没有就替代方法作出规定或达成一致意见，则应使用基准方法。

执行有关相符性认证的测试，应使用测试时符合校准要求的仪器。

®2尘埃粒子浓度评估

当根据附录A完成测试后，对于被考虑粒径的十进制中间等级，每个取样点的单次取样量的粒子浓度（以每立方米粒子数量来表示）不可超过表格1或表格E.1给出的浓度限值。如果在某个取样点多次获得单次取样量，其平均其浓度且平均浓度不可超过表格1或表格E.1给出的浓度限值。中间粒子粒径来源于公式E.1。

必须使用相同方法来测量所有被考虑粒径的粒子浓度，以判定是否与ISO等级一致。

®ISO等级序数

根据粒子浓度划分空气洁净度的级别应以ISO等级序数N来表示。表格1规定了每种被考虑粒径的最大允许粒子浓度。

在表格1里，不同阈值粒径的粒子数量浓度不能反应空气里的实际粒子粒径和数量分布，也不可作为分级的wei yi标准。分级计算举例收录在附录B里。

GB/T 25915.1-2021 /ISO 14644-1：2015

洁净室及相关受控环境 第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级

®3测试报告

各洁净室或洁净区的测试结果均应记录，应以综合报告形式提交，并说明是否符合有规定命名的空气洁净度等级（以粒子浓度划分）。

测试报告应包含：

a)测试组织的名称、地址和进行测试的日期；

b)ISO 14644本部分的出版编号和年代，例如ISO 14644-1:2015；

c)明确标明被测洁净室或洁净区的实际位置（必要时包括临近的参照区）及所有取样点坐标的具体标注（以图表方式表达或有帮助）；

d)洁净室或洁净区的规定命名准则，包括ISO等级序数、相关的占用状态和被考虑粒径；

e)所使用测试方法的详细说明，包括与测试有关的或偏离测试方法的特殊条件，测试仪器铭牌及其目前的校准证书；

f)测试结果，包含所有取样点的粒子浓度数据。

如果大粒子浓度已按附录C里的说明进行了量化，相关信息应包含在测试报告中。

ISO14644.2-2015根据粒子浓度划分空气洁净度等级

附录A根据粒子浓度对空气洁净度进行分级的基准方法

®原则 ：在zhi定取样点，离散粒子计数器可用于判定大于或等于规定粒径的尘埃粒子浓度。

®仪器要求：粒子计数器：

该仪器具有显示或记录空气里离散粒子的总数和粒径的能力以及粒径鉴别能力，可检测到被考虑级别之适当粒径范围内的总粒子浓度。

备注：光散射（离散）尘埃粒子计数器（LSAPC）常常用来划分空气洁净度等级。

®仪器校准

粒子计数器应有有效的校准证：校准的频率和方法应按ISO 21501-4所述的现行认可规定来执行。

备注：针对ISO 21501-4里要求的所有测试，有些粒子计数器不能校正。如果是这种情况，在测试报告里记录下使用该计数器的决定。

®粒子计数测试的准备工作

按照性能指标，测试前应确认洁净室或洁净区的所有相关方面作为一个整体，是完整的、功能正常的。

当执行洁净室性能的配套测试时，应当注意顺序的选择。ISO 14644-3之附录A提供了一份检查清单。

®确定取样点

取样点数量的来源

取样点的最小数量NL来源于表格A.1。表格A.1提供了待分级的各洁净室或洁净区的取样点数量，并且规定了至少95%置信度的情况下，至少90%的洁净室或洁净区不会超过等级限值。

表格1 – 有关洁净室区域的取样点

®取样点的定位

为了定位取样点：

使用表格A.1里的取样点最小数量NL；

然后将整个洁净室或洁净区划分为NL个等面积区块；

每个区块都选定一个可代表该区块特征的取样点；

在每个取样点，将粒子计数器采样探头置于工作活动的平面或另一个zhi定点。

对于被视作关键点的地方，可以选定额外的取样点。他们的数量和位置也应经用户和供应商协商并具体化。

可以将额外区块和相关取样点细分成等面积区块。

对于存在非单向气流的洁净室或洁净区，如果他们直接位于非扩散空气供应源之下，取样点将不具有代表性。

大面积洁净室或洁净区的取样点

当洁净室或洁净区的面积大于1,000m2的时候，使用公式(A.1)来判定要求的取样点最小数量：

NL=27×

其中：NL代表待评估的取样点最小数量，上舍入邻近整数；

A代表洁净室的面积（m2）。

®5确定各取样点的单次取样量和取样时间

如果最大被选择粒径的粒子浓度达到zhi定ISO等级限值，需在各取样点采集足够的空气量，保证能检测出至少20个粒子。

Vs代表取样点的单次取样量，可由公式(A.2)确定：

Vs={20/ Cn.m}×1000

其中：Vs代表取样点的单次zui低取样量，用升表示(附录D的情况除外)；

Cn,m代表相关等级规定的最大被考虑粒径之等级限值（每立方米的粒子数量）；

20代表当粒子浓度处于该等级限值时，可被检测到的粒子数。

每个取样点的取样量至少为2升，取样时间最少为1分钟。各取样点的单次取样量应相同。

Vs值很大时，可能需要大量的取样时间。利用可供选择的顺序采样法（见附录D），既可减少要求的取样量，又可减少取样需要的时间。

取样程序A.5.1

按照厂家说明书（包括自净时间检查），设置粒子计数器（见A.2）

设置采样量计算采样周期/时间

Vs={20/ Cn.m}×1000

5.2采样探头的位置应插入空气流。若被取样的气流方向是不受控的或不可预计的（例如非单向流），采样探头的入口应垂直指向上方。

5.3确保在取样前建立一个处于正常情况下的被选择的占用状态。

5.4每个取样点，每份样品按A.4.4确定的最小空气量取样。

A.5.5如果在一个取样点因某种可辨认的异常情况导致计数超标，可以舍弃该次计数并在测试报告上作出相应记录，并且重新取样。

A.5.6如果一个取样点的计数超标的原因是洁净室或设备的技术故障，应分析原因并采取矫正措施， 在该取样失败的点、周围紧邻的点和其他所有受影响的点安排重新测试。

结果处理

结果记录

当每个被考虑粒径的每次取样量与空气洁净度的相关ISO等级匹配时，每次样品测量结果将记录粒子数量。

`xi ={（xi.1+ xi.2+….. xi.n）/n}

备注：对于粒子计数模式为浓度计算的，人工评估是没有必要的。

各取样点的平均粒子浓度

当一个取样点发生两次或多次取样，根据公式，以单份样品粒子浓度的每个被考虑粒径来

Ci={(`xi×1000)/ Vt}

其中：Ci代表每立方米的粒子浓度；

`xi代表在取样点i的平均粒子数，i可代表任何取样点；

Vt代表被选择的单次取样量（升）。

结果的解释说明

分级要求

如果各取样点测量的平均粒子浓度（每立方米的粒子数）不超过表格1里规定的浓度限值， 洁净室或洁净区被视为已达到规定的空气洁净度分级要求。

如果涉及到附录E里规定的中间等级或粒径，可使用表格(E.1)或公式E.1里的适当限值。

超标结果

如发生计数超标，应安排调查。调查结果和矫正措施应在测试报告